碱性蚀刻药水添加装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种碱性蚀刻药水添加装置,包括储液箱、第一抽液管、第二抽液管、预混合腔、药水添加泵和总管,储液箱内设置有第一存储槽和第二存储槽,第一抽液管的一端伸入第一存储槽内,第一抽液管的另一端与预混合腔连通,第二抽液管的一端伸入第二存储槽内,第二抽液管的另一端与预混合腔连通,预混合腔的出水口与药水添加泵的入水口连接,药水添加泵的出水口与总管连接。本实用新型将第一存储槽和第二存储槽与预混合腔连通,能够同时完成氨水和氯化铵的添加,由于两种药水统一由药水添加泵抽取,流速一致,因此两种药水的添加比例由第一抽液管和第二抽液管的横截面积之比决定,从而无需精确调节各种药液的输入速率。

基本信息
专利标题 :
碱性蚀刻药水添加装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922469535.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-31
授权号 :
CN211897120U
授权日 :
2020-11-10
发明人 :
陈斌卢耀普黄治国卢振华刘国强
申请人 :
悦虎晶芯电路(苏州)股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区经济开发区尹中南路999号
代理机构 :
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 :
李凤娇
优先权 :
CN201922469535.4
主分类号 :
C23F1/08
IPC分类号 :
C23F1/08  H05K3/06  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料;金属材料的缓蚀;一般防积垢;至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/08
装置,如照相印刷制版装置
法律状态
2020-11-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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