本实用新型属于芯片工艺技术领域，尤其涉及一种工件擦拭装置、工件清洗设备和工件清洗工艺。所述工件擦拭装置可与擦拭带配套使用，工件擦拭装置包括：支架；张紧机构，所述张紧机构设置在所述支架上，用于张紧擦拭工件的所述擦拭带；夹持机构，所述夹持机构设置在所述支架上，用于夹持所述张紧机构上的所述擦拭带，以使所述擦拭带夹持待擦拭工件；以及工件移动机构，用于搬运待擦拭工件至擦拭位置，并在所述擦拭带夹持工件后将工件移出。本实用新型实施例提供的一种工件擦拭装置，通过自动夹持擦拭带，进而使得擦拭带夹持工件，然后使工件与擦拭带发生相对运动，使得擦拭带对工件进行擦拭，实现了工件的自动化擦拭作业，提高了工件擦拭的效率。