一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，通过阶梯设置的温度进行钝化，并且在其中加入N2O，能够提高背钝化的效果；另外，增加换热机构，使得炉门打开时，将端部气体传递至炉管尾端，尽可能减少热量的丧失，进而节约能源。加热层采用独立控制的电热丝作为加热源，降低了设备成本，并且对炉内温度实现分区控制，使温度控制更加精确。
基本信息
专利标题 ：
一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922491393.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN210956714U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
雷杰
申请人 ：
昊诚光电（太仓）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市太仓市常胜北路168号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘小峰
优先权 ：
CN201922491393.1
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
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法律状态
2021-12-10 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20191231
授权公告日 : 20200707
终止日期 : 20201231
申请日 : 20191231
授权公告日 : 20200707
终止日期 : 20201231
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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