一种适用于半导体石英管的密封性检测装置
授权
摘要

本实用新型涉及石英管检测装置技术领域,具体涉及一种适用于半导体石英管的密封性检测装置,包括装置本体,其包括密封组件、密封板压力表、密封板连接管、封闭端压力表和固定器,密封组件包括内外两个密封板,两者将石英管内外端口封闭后在两者之间具有空腔,密封板压力表和密封板连接管均设置于外密封板上,密封板连接管的一端连通内腔、另一端用于连接真空机;外密封板上设有至少三个千分表;封闭端压力表通过第一连接管连通石英管内腔,石英管内腔通过第二连接管连接真空机;石英管穿过固定器上的石英管固定孔,其外壁和石英管固定孔内壁间设有楔形密封圈,外密封板与固定器连接。本实用新型可同时进行两平面密封性检测,准确性高、效率高。

基本信息
专利标题 :
一种适用于半导体石英管的密封性检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922495611.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-31
授权号 :
CN210981691U
授权日 :
2020-07-10
发明人 :
赵涛单佩
申请人 :
上海菲利华石创科技有限公司
申请人地址 :
上海市嘉定区马陆镇博学路509号1幢1-4层A区、地下1层A区
代理机构 :
上海梵恒知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王裕
优先权 :
CN201922495611.9
主分类号 :
G01M3/28
IPC分类号 :
G01M3/28  G01B5/28  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/26
通过测量流体的增减速率,例如,用压力响应装置,用流量计
G01M3/28
用于管、缆或管状物;用于管的连接或密封;用于阀门
法律状态
2020-07-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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