多级真空泵和差异化地抽吸多个真空室的方法
授权
摘要
公开了一种多级正排量真空泵和使用这种泵差异化地抽吸多个真空室的方法。该泵包括用于容纳至少一个转子的壳体，该转子安装成在对应的至少一个轴上旋转并且用于将气体抽吸通过多个级以通过排气口输出。壳体包括第一入口和另外的入口，第一入口被配置成允许气体进入所述真空泵的入口级，另外的入口被配置成允许气体进入所述真空泵的中间级。该泵被配置成使得通过第一入口和另外的入口中的每一个进入的气体作为组合气体流一起被所述中间级下游的所述真空泵的至少一级抽吸。
基本信息
专利标题 ：
多级真空泵和差异化地抽吸多个真空室的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111542699A
申请号 ：
CN201980007712.7
公开（公告）日 ：
2020-08-14
申请日 ：
2019-04-04
授权号 ：
CN111542699B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
P·诺思I·奥尔森
申请人 ：
爱德华兹有限公司
申请人地址 ：
英国西萨塞克斯郡
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
刘桢
优先权 ：
CN201980007712.7
主分类号 ：
F04B37/14
IPC分类号 ：
F04B37/14 F04C23/00 F04C25/02 F04C28/26 F04C18/16 F04C18/12
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2020-09-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 37/14
申请日 : 20190404
申请日 : 20190404
2020-08-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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