用于制造硅钟表部件的方法
授权
摘要
根据本发明的方法包括以下步骤：a)提供衬底(1)，该衬底(1)包括第一硅层(2)、第二硅层(3)以及在第一硅层(2)和第二硅层(3)之间的中间氧化硅层(4)；b)蚀刻第一硅层(2)以在其中形成钟表部件；c)从衬底(1)释放至少由经蚀刻的第一硅层(2)的全部或部分形成的、并包括钟表部件的晶圆；d)对钟表部件进行热氧化然后脱氧；e)在钟表部件上通过热氧化或沉积形成氧化硅层；f)从晶圆(8)中分离钟表部件。
基本信息
专利标题 ：
用于制造硅钟表部件的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111868637A
申请号 ：
CN201980020156.7
公开（公告）日 ：
2020-10-30
申请日 ：
2019-03-19
授权号 ：
CN111868637B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
西尔万·让纳雷
申请人 ：
百达翡丽日内瓦公司
申请人地址 ：
瑞士日内瓦
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵赫
优先权 ：
CN201980020156.7
主分类号 ：
G04B17/06
IPC分类号 ：
G04B17/06 G04B17/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G04
测时学
G04B
机械驱动的钟或表；一般钟或表的机械零部件；应用太阳、月亮或星辰位置计时的计时器
G04B17/00
稳定频率的机构
G04B17/04
由弹簧力作用的摆动器
G04B17/06
有游丝的摆动器，例如，摆轮
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2021-01-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G04B 17/06
申请日 : 20190319
申请日 : 20190319
2020-10-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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