彩色共焦区域传感器
授权
摘要
确定工件上特征的3D测量，例如球高、共面性、组件厚度或翘曲。系统包含宽带光源、微透镜阵列、可调谐彩色滤光器、透镜系统及检测器。所述微透镜阵列可将光束聚焦到所述微透镜阵列的焦平面中的点。所述可调谐彩色滤光器可使所述光束收窄到中心波长处的频带。所述透镜系统可提供纵向色差以借此使不同波长成像在距所述透镜系统的不同距离处。
基本信息
专利标题 ：
彩色共焦区域传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112469961A
申请号 ：
CN201980048978.6
公开（公告）日 ：
2021-03-09
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN112469961B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
C·沃特斯K·约里斯J·德格里夫
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN201980048978.6
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B11/00 G01B11/06 G01B11/16 G02B7/02 G02B27/00 G02B21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-08-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20190723
申请日 : 20190723
2021-03-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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