具有入口防护部的麦克风设备
授权
摘要
一种麦克风设备包括基底和微机电系统(MEMS)换能器以及设置在基底上的集成电路(IC)。该麦克风设备还包括盖，该盖安装在基底上并覆盖MEMS换能器和IC。MEMS换能器包括附接至基板的表面的振膜以及安装在基板上并与振膜成间隔开的关系的背板。振膜沿着振膜的外围的至少一部分附接至基板的表面。振膜可以包括氮化硅绝缘层和面向背板的导电层的导电层。MEMS换能器可以包括设置在振膜的至少一部分与基板之间的外围支撑结构。振膜可以包括一个或更多个均压孔。
基本信息
专利标题 ：
具有入口防护部的麦克风设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112823532A
申请号 ：
CN201980065029.9
公开（公告）日 ：
2021-05-18
申请日 ：
2019-10-04
授权号 ：
CN112823532B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
桑·博克·李V·纳德瑞恩余兵M·昆特兹曼马云飞W·康克林彼得·洛佩特
申请人 ：
美商楼氏电子有限公司
申请人地址 ：
美国伊利诺伊州
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
付林
优先权 ：
CN201980065029.9
主分类号 ：
H04R19/00
IPC分类号 ：
H04R19/00 H04R19/04 H04R7/12 H04R7/18
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2021-06-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/00
申请日 : 20191004
申请日 : 20191004
2021-05-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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