深冷超高真空手提箱
授权
摘要

本发明涉及一种可运输装置,用于在超高真空条件下且在低温下运输和转移样本,该可运输装置包括:真空腔室;冷却系统;转移杆,借助于所述转移杆能够调节所述样本的位置;阀,借助于所述阀能够打开或关闭所述腔室并且将所述腔室附接至另一个真空设备;泵,所述泵被设计成当样本处于所述腔室内部时和/或当样本被转移时始终将所述腔室中的压力保持在低于109mbar;冷却罩,所述冷却罩在所述腔室内部限定了一个容积,所述样本在运输过程中被保持在该容积中,其中所述冷却罩(106)与所述冷却系统热接触;样本支架,所述样本支架可拆卸地附接至所述转移杆并且被配置为在运输过程中承载所述样本;冷却块,所述冷却块与所述冷却罩热接触,其中所述冷却块和所述样本支架被配置成使得它们可以在由所述冷却罩所限定的容积内部进行热接触,其中所述冷却系统被配置成能够将所述冷却罩冷却至80K以下的温度,并且其中所述冷却罩和所述冷却块之间和/或所述冷却块和所述样本支架之间的热接触被配置为使得,在所述冷却罩的温度低于所述腔室的温度时,始终将所述样本保持在高于所述冷却罩的温度下。本发明还涉及六爪端口对准器的用途,所述六爪端口对准器用于将样本从真空运输装置转移至电子显微镜,特别是转移至透射电子显微镜。

基本信息
专利标题 :
深冷超高真空手提箱
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113196441A
申请号 :
CN201980078181.0
公开(公告)日 :
2021-07-30
申请日 :
2019-02-06
授权号 :
CN113196441B
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
U·梅尔D·冯贡滕
申请人 :
费罗真空公司
申请人地址 :
瑞士苏黎世
代理机构 :
北京北翔知识产权代理有限公司
代理人 :
郑建晖
优先权 :
CN201980078181.0
主分类号 :
H01J37/20
IPC分类号 :
H01J37/20  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置;与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2022-05-31 :
授权
2021-11-05 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H01J 37/20
变更事项 : 申请人
变更前 : 费罗真空公司
变更后 : 费罗真空股份公司
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士苏黎世
变更后 : 瑞士苏黎世
2021-10-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/20
申请日 : 20190206
2021-07-30 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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