一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩
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摘要
本实用新型涉及镀膜机附属装置的技术领域，特别是涉及一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩；其可进行靶材与屏蔽罩之间间距全面调节；包括环形座、内螺纹管、外螺纹管、四组内罩体板、扩径环和四组外罩体板，四组内罩体板均布于环形座的顶端，四组内罩体板的底端均与环形座的顶端固定连接，内螺纹管的顶端与环形座的底端固定连接，四组内罩体板的底部合围成锥形体，四组内罩体板的上部合围成圆柱体，扩径环的底端与外螺纹管的顶端固定连接，外螺纹管的底端自内螺纹管的底端螺装穿过外螺纹管自外螺纹管的底端穿出，四组外罩体板分别固定设置于四组内罩体板的外壁上，四组外罩体板位于四组内罩体板之间的间距处。
基本信息
专利标题 ：
一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021994245.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-14
授权号 ：
CN213232475U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
齐国防
申请人 ：
东光县益丰机械有限公司
申请人地址 ：
河北省沧州市东光县找王镇大曹村
代理机构 ：
沧州市国瑞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵东阳
优先权 ：
CN202021994245.8
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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