一种光学真空镀膜用抽气装置
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摘要
本实用新型公开了一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱，镀膜机箱的一侧设有可视窗，镀膜机箱的一端设有冷凝箱，另一端设有加热器，镀膜机箱的底端四个侧面均焊接有插板，镀膜机箱的顶端安装有抽气箱，抽气箱上连接有若干个输气管，镀膜机箱的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架，镀膜机箱固定架的底端连接有液压缸，液压缸固定在底座上，底座的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，底座的两端均设有液压制动箱，该镀膜装置将抽真空装置与镀膜箱分开，并通过抽气管连接，减少镀膜箱的负重，检修十分方便，灵活性强，而且镀膜箱的密封性好，取拿镀膜件简单方便，可以对多个镀膜件进行同时镀膜，效率高，速度快，整体稳定性能高。
基本信息
专利标题 ：
一种光学真空镀膜用抽气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921741637.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-17
授权号 ：
CN210657124U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
陈晓东
申请人 ：
常州鑫立离子技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921741637.0
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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