一种光学真空镀膜用的冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光学真空镀膜用的冷却装置，涉及真空镀膜技术领域，本实用新型包括镀膜箱、电流溶解设备、光学零件夹持器、真空箱门以及水箱，真空箱门通过铰链与镀膜箱本体连接，镀膜箱本体外部两侧表面均设有通孔，若干伸缩杆外表面分别与通孔连接，抽真空设备、温度检测仪、冷凝箱、正反电机、加热器以及离心风机均与开关电性连接，本实用新型一种光学真空镀膜用的冷却装置，抽真空设备包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，可以对镀膜箱进行抽真空处理，温度检测仪对镀膜箱内部温度进行检测，通过控制冷凝箱和加热器实现镀膜箱镀膜时内部恒温，正反电机让光学零件夹持器在镀膜过程中能旋转，使镀膜更加均匀。
基本信息
专利标题 ：
一种光学真空镀膜用的冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022045209.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN213447292U
授权日 ：
2021-06-15
发明人 ：
肖礼
申请人 ：
曜昀光电科技（厦门）有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市集美区环珠路279号勇腾仓储有限公司2#厂房二层中侧K-O轴
代理机构 ：
泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王成红
优先权 ：
CN202022045209.3
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/50 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-06-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
