带有冷却装置的真空镀膜设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命。

基本信息

专利标题：

带有冷却装置的真空镀膜设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021662801.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-11

授权号：

CN213327802U

授权日：

2021-06-01

发明人：

王正云刘贺威

申请人：

苏州众智泽智能科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山开发区中小企业园风琴路108号7号厂房1楼

代理机构：

北京酷爱智慧知识产权代理有限公司

代理人：

胡林

优先权：

CN202021662801.1

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24