一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备
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摘要
本发明涉及一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备，包括工件挂架和挂架安装座；工件挂架，设有两个以上，其上设有工件挂装结构，工件挂装结构供待镀膜工件挂装；挂架安装座，用于固定到真空镀膜机的炉腔内；挂架安装座上设有挂架取放结构，挂架取放结构供工件挂架可拆连接以供工件挂架取出和放入炉腔，本发明提供的真空镀膜夹具，在镀膜作业时，可在炉门外将工件安装到工件挂装结构上，然后再将工件挂架整体安装于炉腔内的挂架安装座上，在镀膜完成后将工件挂架整体拆下，换另一批工件挂架，从而能够实现不同批次工件的交替式生产，提高了真空镀膜的作业效率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111041444A
申请号 ：
CN201911208306.5
公开（公告）日 ：
2020-04-21
申请日 ：
2019-11-30
授权号 ：
CN111041444B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
郭绕龙张玲玲孙晓军王文超姚远徐家强李常业董吉伟
申请人 ：
河南航天精工制造有限公司
申请人地址 ：
河南省信阳市高新技术产业开发区北环路13号
代理机构 ：
郑州睿信知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡晓东
优先权 ：
CN201911208306.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/24
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-05-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20191130
申请日 : 20191130
2020-04-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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