一种真空镀膜设备用冷却装置
授权
摘要
本实用新型提供一种真空镀膜设备用冷却装置，包括柱体、软管和保护外壳、镶嵌螺母、固定板、温度表以及上固定板，所述柱体的上端设置有保护外壳，所述柱体的背部设置有软管，该种真空镀膜设备用冷却装置结构稳定减温管结构使得有效的减温，减温管呈s结构排列，这样在使用的时候可以达到均与降温，这样起到对柱体的保护通过设置有温度表和减温开关结构便于观察柱体内部的温度变换，从而可以通过减温开关来控制柱体温度，到达精准调控，避免会造成产品的损失通过设置有小型电机扇和电机结构使得通过电机带动转轴，转轴将动力给予小齿轮，来实现小型电机扇转动对柱体内部可以造成风力循环，减温效果有效提高。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜设备用冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021635392.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-09
授权号 ：
CN213835515U
授权日 ：
2021-07-30
发明人 ：
尹刚张华静
申请人 ：
肇庆市龙泽真空设备有限公司
申请人地址 ：
广东省肇庆市高要区回龙镇步步高工业园肇江公路边松塘牌坊北侧200米(黎景烙厂房之二)
代理机构 ：
深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘英
优先权 ：
CN202021635392.6
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C14/52 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-07-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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