一种真空镀膜机的冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷却装置，属于真空镀膜机技术领域。一种真空镀膜机的冷却装置，包括真空腔体和将安装于真空腔体外部的外壳，所述外壳的下方开设有下连接管，所述外壳的上方开设有上连接管，所述真空腔体和外壳之间安装有换热组件和散热组件，所述外壳的一侧设有鼓气泵，所述外壳的另一侧设置有抽水泵。本实用新型利用散热组件将真空腔体内部的热量通过汽化的冷却水均匀散发到外壳中，使得真空腔体产生的热量可以均匀分布到体积较大的外壳中，同时通过换热组件，利用换热管道与水蒸气的接触将水蒸气的热量传输到第一连接管道中移动的冷却气体中，双管齐下，从而带走真空腔体产生的热量，提高对真空腔体的冷却效率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机的冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122227250.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-15
授权号 ：
CN216585170U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
李林
申请人 ：
李林
申请人地址 ：
河北省保定市双塔区羊市街综合组236号
代理机构 ：
安徽致至知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
秦玉霞
优先权 ：
CN202122227250.7
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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