一种真空镀膜机腔体冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括底板，所述底板上端中心位置固定安装设置有镀膜机主体，所述镀膜机主体前端中心位置活动安装设置有门板，所述底板上端在镀膜机主体两侧端位置均垂直固定设置有壳体，所述镀膜机主体内侧壁上固定设置有第一蛇形管，所述镀膜机主体上端中心位置固定安装设置有储水箱，所述储水箱内部底端中心位置固定安装设置有水泵，所述水泵右侧端中心位置固定安装设置有第二蛇形管，所述储水箱左侧上端固定安装设置有第三蛇形管。本实用新型启动水泵与散热风扇，水泵将储水箱内部的水源泵入第二蛇形管内部位置，然后经过右侧壳体流入第一蛇形管内部位置，利用流入的水流对镀膜机主体内部进行快速降温。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机腔体冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020324863.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-16
授权号 ：
CN211972429U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
杨林生
申请人 ：
合肥聚盛真空科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经开区紫云路方兴园
代理机构 ：
浙江专橙律师事务所
代理人 ：
邢万里
优先权 ：
CN202020324863.5
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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