模块化腔体与真空镀膜装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种模块化腔体与真空镀膜装置。该模块化腔体包括第一框体与第二框体，第一框体与第二框体均设置有至少一个安装位，安装位用于与功能模块可拆卸连接；第一框体具有工件位，工件位用于放置工件，第二框体可相对于第一框体开合；当第二框体相对第一框体闭合时，第一框体与第二框体之间形成真空镀膜空间。通过将第一框体与第二框体相对开合，使得维修人员可以便于进入腔体内部空间进行维修。而且通过安装位与功能模块可拆卸连接，使得对应功能模块需要维修或更换时，将其从对应的安装位取下即可，大大降低了真空镀膜装置的维修难度与维修成本。
基本信息
专利标题 ：
模块化腔体与真空镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122785700.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-13
授权号 ：
CN216237242U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
林海天李立升郑礼伟陈松杨恺
申请人 ：
东莞市华升真空镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市大岭山镇百花洞马山庙路2号5栋401室、501室
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
张捷美
优先权 ：
CN202122785700.4
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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