一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置
授权
摘要
本实用新型提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括上端盖、连接板、支架、观察窗、固定壳、风罩、水箱、水管、冷却仓、电磁阀、水泵、固定板以及冷却风扇，上端盖下侧安装有连接板，上端盖下侧安装有观察窗，观察窗下侧固定有支架，上端盖下侧安装有固定壳，固定壳环形侧面下侧安装有风罩，固定壳下侧安装有水箱，水箱与固定壳连接处安装有水管，固定壳内部开设有冷却仓，水箱内部安装有水泵，水泵左侧安装有电磁阀，风罩内部安装有冷却风扇，冷却风扇与固定壳连接处安装有固定板，该设计解决了原有真空镀膜机腔体冷却装置冷却效果不好的问题，本实用新型结构合理，便于组合安装，冷却速度快，使用效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922314766.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-21
授权号 ：
CN211689199U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
王金泉王菊姿王伟平
申请人 ：
常州市爱华真空设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区奔牛镇陈巷村委小叶家组西首
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922314766.8
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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