改进的等离子真空镀膜装置
专利权的终止
摘要

本实用新型是一种改进的等离子真空镀膜装置,涉及等离子真空镀膜设备。其特征是镀膜罐设为水平卧置,沿镀膜罐体外表面纵向两侧对称的各设有一组外凸源座和离子发射源,两侧外凸源座均设于镀膜罐体轴心水平面之上;离子发射源固置于外凸源座,每组离子发射源的个数不少于6个;镀膜罐体分别设有进气口和排气口,进气口设于镀膜罐体密封底板的顶部,出气口设于镀膜罐体底部的纵向一侧。按本方案实施的镀膜装置,因将原有的立式镀膜装置改进为水平卧置式,不仅可以对大型工件施镀,而且也因在装置上改进了反应气路结构而获得深色的镀膜效果,其施镀的色彩艳丽均匀、膜层附着牢固。本实用新型具有效率高、成本低和节能的特点,是一种有益的改进。

基本信息
专利标题 :
改进的等离子真空镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620129784.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-09-14
授权号 :
CN200952035Y
授权日 :
2007-09-26
发明人 :
王百江杨宁合
申请人 :
北京市普镭挺真空镀膜设备有限公司
申请人地址 :
101500北京市密云县西门外大街30号
代理机构 :
中国商标专利事务所有限公司
代理人 :
万学堂
优先权 :
CN200620129784.9
主分类号 :
C23C16/513
IPC分类号 :
C23C16/513  C23C16/52  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/513
采用等离子流
法律状态
2012-11-14 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101346718951
IPC(主分类) : C23C 16/513
专利号 : ZL2006201297849
申请日 : 20060914
授权公告日 : 20070926
终止日期 : 20110914
2007-09-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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