一种高压铝离子真空镀膜装置

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摘要

本实用新型公开了一种高压铝离子真空镀膜装置，包括抽风机、冷却室、密封镀膜室、散热鳍片、鼓风机、风机、半圆形防水出风管、过滤结构、喷头、第一输水管、第二输水管、第一机泵、水箱、第三输水管、第四输水管、第二机泵、过滤壳、散风板、散风孔、第一通风管、滤尘层、除湿层、散风管、螺纹密封盖、密封圈、固定轴、室门和底板。本实用新型的有益效果是：本装置可以通过散热鳍片对镀膜室内部的热量进行散发，通过冷却室内的风冷和水冷结构对散热鳍片进行热量散发，可以起到对镀膜装置进行快速散热的作用，本装置的过滤结构可以对进入镀膜室内部的空气进行除湿和除尘。

基本信息

专利标题：

一种高压铝离子真空镀膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921457115.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-03

授权号：

CN211170859U

授权日：

2020-08-04

发明人：

陈瑜

申请人：

苏州市恒丽真空镀膜有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城区黄桥街道方浜工业区（中泰金属斜对面）

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921457115.8

主分类号：

C23C14/32

IPC分类号：

C23C14/32 C23C14/14