一种高压铝离子真空镀膜装置
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摘要

本实用新型公开了一种高压铝离子真空镀膜装置,包括抽风机、冷却室、密封镀膜室、散热鳍片、鼓风机、风机、半圆形防水出风管、过滤结构、喷头、第一输水管、第二输水管、第一机泵、水箱、第三输水管、第四输水管、第二机泵、过滤壳、散风板、散风孔、第一通风管、滤尘层、除湿层、散风管、螺纹密封盖、密封圈、固定轴、室门和底板。本实用新型的有益效果是:本装置可以通过散热鳍片对镀膜室内部的热量进行散发,通过冷却室内的风冷和水冷结构对散热鳍片进行热量散发,可以起到对镀膜装置进行快速散热的作用,本装置的过滤结构可以对进入镀膜室内部的空气进行除湿和除尘。

基本信息
专利标题 :
一种高压铝离子真空镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921457115.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-03
授权号 :
CN211170859U
授权日 :
2020-08-04
发明人 :
陈瑜
申请人 :
苏州市恒丽真空镀膜有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区黄桥街道方浜工业区(中泰金属斜对面)
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921457115.8
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32  C23C14/14  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2020-08-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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