一种高压离子轰击的真空镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底板，所述底板的顶部固定连接有镀膜机本体，所述镀膜机本体的顶部固定连接有电机箱，所述电机箱内壁的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有转杆，所述转杆的一端贯穿镀膜机本体并延伸至镀膜机本体的内部，所述转杆延伸至镀膜机本体内部的一端固定连接有第一圆盘，所述第一圆盘的底部固定连接有夹具，所述夹具的底部固定连接有第二圆盘。本实用新型所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，设有加热箱与水泵，能够提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率，还可以提高真空镀膜机的工作效率，使用效果好，带来更好的使用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种高压离子轰击的真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921265443.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-07
授权号 ：
CN210287516U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
刘林兴
申请人 ：
苏盛纳米涂层科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇230省道藏书888号第七号标准厂房西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921265443.8
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/54
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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