一种高压离子轰击的真空镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底座，所述底座上端设有镀膜机本体，镀膜机本体上端设有电机箱，电机箱内设有电机，所述底座的上端位于镀膜机本体的右端设有保护壳，保护壳的内部设有真空泵。本实用新型，当镀膜机工作时，打开真空泵，通过真空管将镀膜机本体内的空气进行抽取，再通过排气管将空气排出，然后打开加热箱，通过加热棒对加热箱内的空气进行加热，引流扇的风力可将单项阀上的阀瓣顶开，通过引流扇将加热后的空气排进镀膜机本体内，对镀膜机本体内部进行加热，通过温度控制器控制镀膜机本体内的温度，当温度达到预定值时关闭引流扇，单项阀关闭停止对镀膜机本体的内部吹热风，从而完成控温效果。
基本信息
专利标题 ：
一种高压离子轰击的真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022103912.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN213925004U
授权日 ：
2021-08-10
发明人 ：
曾宇
申请人 ：
东莞市铭鸿真空镀膜有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市黄江镇社贝明珠二路17号
代理机构 ：
深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
夏龙
优先权 ：
CN202022103912.5
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-08-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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