超大型等离子真空镀膜装置
专利权的终止
摘要

本实用新型是关于一种超大型等离子真空镀膜装置,涉及真空离子镀膜设备。本实用新型是为解决对大型工件的等离子真空镀膜作业,而提出一种超大型等离子真空镀膜装置,其特征在于由第一、第二真空室、镀膜室、同步传动机构、行走架、采集器、偏压器件、加热器组成,镀膜室的两侧分别接置第一、第二真空室构成连通的一室,该室内设有行走架,行走架装接同步传动机构,镀膜室两端设有活动源座和离子发射源。本实用新型不仅可完成对大或超大型工件的镀膜作业,且由于采用了双向离子发射源的镀膜室,致使镀件可获得黑色、锆金色、玫瑰金色和咖啡色等丰富的色彩以及匀致性好、附着力强的镀层。本实用新型具有结构合理、效率高和节约工时的特点。

基本信息
专利标题 :
超大型等离子真空镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620129783.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-09-14
授权号 :
CN200952034Y
授权日 :
2007-09-26
发明人 :
王百江杨宁合
申请人 :
北京市普镭挺真空镀膜设备有限公司
申请人地址 :
101500北京市密云县西门外大街30号
代理机构 :
中国商标专利事务所有限公司
代理人 :
万学堂
优先权 :
CN200620129783.4
主分类号 :
C23C16/513
IPC分类号 :
C23C16/513  C23C16/52  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/513
采用等离子流
法律状态
2010-12-01 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101020695207
IPC(主分类) : C23C 16/513
专利号 : ZL2006201297834
申请日 : 20060914
授权公告日 : 20070926
终止日期 : 20091014
2007-09-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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