一种真空镀膜机腔体冷却装置
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摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括固定在底座上的镀膜机和水箱，所述镀膜机的两侧固定安装有一个冷却板，且冷却板的内部开设有空腔，两个所述冷却板之间连通有一个连接管，其中一个所述冷却板和水箱之间连通有一个单向管，两个所述冷却板与水箱之间设有一个进水机构，所述底座通过柱体固定安装有安装架，所述安装架上固定安装有电机，所述电机的驱动端固定安装有一个转轴，所述转轴的下端贯穿安装架并固定套接有一个风扇。优点在于：本实用新型采用水冷以及风冷两者方式对镀膜机进行冷却降温，具有降温速度快、降温效率高的优点，同时只需要一个水泵以及一个电机作为动力源即可，使用成本相对较低。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机腔体冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920631120.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-06
授权号 ：
CN210048845U
授权日 ：
2020-02-11
发明人 ：
陈开龙
申请人 ：
深圳市沃克力技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区平湖街道平安大道33号澳佳工业园区3栋1楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920631120.X
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-02-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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