一种真空镀膜机腔体
授权
摘要
本实用新型提供了一种真空镀膜机腔体，属于真空镀膜机领域。该真空镀膜机腔体，包括腔体、冷却组件和散热组件。所述冷却管设置在所述中空槽内，所述泵体的抽水端设置在所述水箱内。所述散热翅片固定在所述水箱表面，所述半导体制冷片的制热面与所述散热翅片贴合；水箱内的冷却水通过泵体输入冷却管，并通过冷却管的另一端排回水箱内，使之将腔体产生的热量带入水箱内，增设的半导体制冷片对水箱内的冷却液进行降温，半导体制冷片的制热面通过散热翅片对外界进行热量的扩散，通过增设的中空槽进行水冷散热，使得腔体各个部位温度均匀，实现冷却的目的，有效保护了真空镀膜机，延长了其使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机腔体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021221051.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-28
授权号 ：
CN212741505U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
孟进
申请人 ：
上海畅桥真空系统制造有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区山富东路365号4幢
代理机构 ：
北京沁优知识产权代理有限公司
代理人 ：
方仕杰
优先权 ：
CN202021221051.4
主分类号 ：
C23C14/00
IPC分类号 ：
C23C14/00 F25D17/02 F25B21/02
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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