一种真空镀膜设备的冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜设备的冷却装置,涉及真空镀膜设备技术领域,包括真空镀膜箱体,还包括:夹持组件,所述夹持组件包括布置在真空镀膜箱体内的支板,所述支板表面相对布置支座,两侧所述支座间设置紧固螺杆,紧固螺杆与支座通过螺纹连接,两侧紧固螺杆相互远离的一端与手柄固定连接,紧固螺杆远离手柄的一端与夹持板转动连接,以及冷却组件,两侧紧固螺杆在转动的过程中同时朝向工件方向移动,两侧所述夹持板对工件进行夹持固定,循环水泵通过输水管将外界水箱内的水输送至循环水管内,制冷箱对输入至循环水管内的水进行冷却降温,经过冷却降温后的水输送至冷却水管内对真空镀膜箱体内部进行冷却降温。
基本信息
专利标题 :
一种真空镀膜设备的冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122094950.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-01
授权号 :
CN216155951U
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
杨林生
申请人 :
合肥聚盛真空科技有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区紫云路北,桃源路西方兴园8幢405室
代理机构 :
合肥三川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
潘光亮
优先权 :
CN202122094950.3
主分类号 :
C23C14/22
IPC分类号 :
C23C14/22 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2022-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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