应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构
授权
摘要
本实用新型属于真空镀膜的技术领域，尤其涉及应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构。包括冷却辊、驱动冷却辊转动的驱动机构以及冷却结构，利用内胆将冷却辊的内部分隔成冷却通道与出水通道，从冷却液管道流入的冷却液沿冷却通道流动的同时，与冷却辊内壁接触，从而带走冷却辊的温度，而最终从内胆内的出水通道流出，在冷却辊内部形成冷却循环水路，且进出水分别为两个通路互不干扰，保证在冷却辊转动时冷却水循环不受影响。
基本信息
专利标题 ：
应用于真空镀膜设备中的冷却辊机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922306164.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211199380U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
高文波李小彭
申请人 ：
广东生波尔光电技术有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座)
代理机构 ：
中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
石仁
优先权 ：
CN201922306164.8
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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