本实用新型公开了一种真空镀膜设备用冷却机构，包括外壳体、内壳体和出水管，所述外壳体与内壳体之间形成有空隙，外壳体下方固定有底座，外壳体上设置有出风口和进风口，外壳体侧面连接有支撑架，且支撑架上安装有风机，所述内壳体内侧设置有真空镀膜腔，内壳体内部安装有上侧进水管、第一水管、下侧进水管、第二水管和第三水管，所述上侧进水管与第一水管相连通，第一水管通过两通阀与第三水管相连，第三水管通过三通阀与第二水管和出水管连接在一起。该真空镀膜设备用冷却机构，结构设置合理，通过设置内外壳体，将冷却水管嵌入内壳体中，提高冷却效果，在外壳体上设置内小外大的进风口和风机，利用节流膨胀原理，增强风冷效果。