一种真空镀膜机冷却装置
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摘要
本实用新型涉及一种真空镀膜机冷却装置，包括真空镀膜机腔体，所述真空镀膜机腔体外侧设置有外机壳，所述外机壳内表面与真空镀膜机腔体接触处设置有导热板，所述导热板外侧均匀分布有第一导热杆、第二导热杆，所述外机壳内腔均匀开设有导水管、导风腔，所述外机壳内腔左侧设置有第一空腔，所述第一空腔内设置有进水管，所述外机壳内腔右侧设置有第二空腔，所述第二空腔内设置有出水管，所述外机壳底部固定连接有底座，所述底座内腔设置有蓄水箱，所述进水管、出水管均与蓄水箱连通，让冷却水在导水管内形成循环进行水冷散热，同时抽风机让外机壳内部空气流动进行风冷散热，从而很好的提高了真空镀膜机的冷却效果，增加其使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920443060.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-03
授权号 ：
CN209741256U
授权日 ：
2019-12-06
发明人 ：
杨金华
申请人 ：
勒夫迪科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区松陵镇友谊村13组
代理机构 ：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王利斌
优先权 ：
CN201920443060.9
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2019-12-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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