一种光学真空镀膜膜厚测量装置
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摘要
一种光学真空镀膜膜厚测量装置，密封体上端与电机连接，密封体下端与密封管一端连接，所述密封管穿过固定盘和冷凝室，所述电机的轴穿过所述密封体、所述密封管和承载台连接扇叶状的转盘；所述冷凝室的上端面连接固定盘，下端面连接所述承载台，所述冷凝室内壁附近设有装冷却水的夹层，夹层与所述冷凝室内壁之间设有双螺旋结构的螺旋层，所述螺旋层呈双螺旋结构从所述固定盘下表面延伸至所述承载台上方，冷却水进水管和出水管沿所述螺旋层布置，所述承载台的下表面中心设有安装了晶振片的所述晶振探头。本实用新型提供的光学真空镀膜膜厚测量装置，利用转盘旋转使溅射到工件上的镀膜材料只有少部分能到晶振片上，增加晶振片的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种光学真空镀膜膜厚测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021044382.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-09
授权号 ：
CN212390975U
授权日 ：
2021-01-22
发明人 ：
王勇何飞
申请人 ：
成都四盛科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)世纪大道515号21栋2号
代理机构 ：
成都东唐智宏专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗言刚
优先权 ：
CN202021044382.5
主分类号 ：
G01B17/02
IPC分类号 ：
G01B17/02 G01B7/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B17/00
以采用次声波、声波、超声波振动为特征的计量设备
G01B17/02
用于计量厚度
法律状态
2021-01-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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