一种可均匀抽气的真空镀膜抽气机构
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型公开了一种可均匀抽气的真空镀膜抽气机构,包括真空腔室、两块过滤网板、两个扩散泵、三通连接管、第一橡胶接头以及真空泵组,所述真空腔室侧端向外延伸有两个真空抽气口,所述真空抽气口内分别设有一过滤网板,两个所述扩散泵的一端分别与一真空抽气口连接,两个扩散泵通过三通连接管与真空泵组连接。本实用新型通过一台真空泵组可对两个真空抽气口进行抽真空处理,有效提高真空腔室的抽真空效率;每一真空抽气口上设有一过滤网板,如此设置,不仅可使真空腔室内的抽气气流更加均匀,还可有效防止真空腔室内的镀膜杂质进入真空泵组,提高设备的运行稳定性;真空室门可在真空腔室的开口内实现推拉闭合,方便用户省力的打开真空室门。

基本信息
专利标题 :
一种可均匀抽气的真空镀膜抽气机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021972570.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-10
授权号 :
CN213113496U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
包利荣余志国
申请人 :
河源市圣祥光电科技有限公司
申请人地址 :
广东省河源市高新技术开发区科技十三路河源鑫辉通讯技术有限公司1号厂房三至四层
代理机构 :
河源市华标知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郝红建
优先权 :
CN202021972570.4
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2021-11-26 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : C23C 14/56
登记号 : Y2021980012091
登记生效日 : 20211108
出质人 : 河源市圣祥光电科技有限公司
质权人 : 中国银行股份有限公司河源分行
实用新型名称 : 一种可均匀抽气的真空镀膜抽气机构
申请日 : 20200910
授权公告日 : 20210504
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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