本发明公开了用于三甲硅烷基胺的气相合成的系统和方法。一种系统包括反应容器，所述反应容器具有顶部、底部和具有内表面的侧壁。所述反应容器包括用于气态反应物的入口和用于惰性气体的气体入口。在某些反应器中，所述气体入口定位在所述反应容器的所述顶部附近，并且被构造成将所述反应气体从其基本上竖直地且向下地注入所述反应器中。其他反应器为具有切向进料气体的气旋形状。一个或多个导流板具有周边边缘并且基本上水平地定位在所述反应器中以限定位于所述导流板上方的反应区和位于所述导流板下方的分离区。所述导流板定位在所述反应容器中，使得所述导流板周边边缘与所述反应容器的所述内表面之间存在间隙。某些系统和方法包括机械或静态混合器。