末端执行器测定模块及利用该模块的末端执行器监控装置
授权
摘要
公开一种末端执行器测定模块及利用该模块的末端执行器监控装置。本实用新型通过安装在晶圆从设备前端模块(EFEM)进入半导体工艺装置的供应口而对末端执行器的移动路径进行测定，并利用所测定到的移动路径对末端执行器的扭曲进行监控，从而可以自动确认机械臂的误操作的发生以便于对机械臂的维护以及保养进行管理。
基本信息
专利标题 ：
末端执行器测定模块及利用该模块的末端执行器监控装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201990001189.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-18
授权号 ：
CN215183865U
授权日 ：
2021-12-14
发明人 ：
李圭钰林辰姬
申请人 ：
李圭钰
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
姜虎
优先权 ：
CN201990001189.2
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-12-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
