一种声粒子速度反应器及其制作方法
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摘要
本发明涉及微纳制造技术领域，具体公开了一种声粒子速度反应器，其中，包括：衬底，所述衬底上形成凹槽，所述凹槽形成声学腔；所述衬底上设置第一传感导线和第二传感导线，所述第一传感导线和所述第二传感导线的投影均位于所述凹槽的底壁上；所述第一传感导线和所述第二传感导线均包括从下到上依次设置的支撑层、热敏材料层和加热电阻层，所述热敏材料层的电阻温度系数大于1.5*10‑2‑2*10‑2K‑1。本发明还公开了一种声粒子速度反应器的制作方法。本发明提供的声粒子速度反应器采用电阻温度系数大于1.5*10‑2‑2*10‑2K‑1的热敏材料层，能够有效提高声粒子速度反应器的响应度。
基本信息
专利标题 ：
一种声粒子速度反应器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111220257A
申请号 ：
CN202010047229.6
公开（公告）日 ：
2020-06-02
申请日 ：
2020-01-16
授权号 ：
CN111220257B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
蒋文静李志刚
申请人 ：
江苏物联网研究发展中心
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座
代理机构 ：
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹祖良
优先权 ：
CN202010047229.6
主分类号 ：
G01H5/00
IPC分类号 ：
G01H5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H5/00
测量超声波、声波或次声波的传播速度
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-06-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01H 5/00
申请日 : 20200116
申请日 : 20200116
2020-06-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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