一种微球腔的制备方法
授权
摘要
本发明提供了一种微球腔的制备方法。所述制备方法包括：选取基片，所述基片包括相复合的支撑层和器件层；在器件层上形成光刻胶层，经过光刻和显影后，形成光刻胶圆盘；以光刻胶圆盘作为掩模，刻蚀掉光刻胶圆盘区域之外的器件层材料，然后去除光刻胶圆盘，在支撑层上形成器件圆盘；刻蚀‑回流：刻蚀器件圆盘周围的支撑层材料，形成支撑器件圆盘的支撑柱；用激光照射器件圆盘，使器件圆盘的边缘熔融并向内收缩至支撑柱顶端边缘，形成器件环芯；重复进行所述刻蚀‑回流的步骤，使支撑柱和器件环芯的直径逐步缩小，直至形成微球腔。本发明提供的方法可以保证在制备大尺寸微球腔过程中，器件圆盘不发生开裂、脱落，提高了制备的微球腔的直径。
基本信息
专利标题 ：
一种微球腔的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111313218A
申请号 ：
CN202010104921.8
公开（公告）日 ：
2020-06-19
申请日 ：
2020-02-20
授权号 ：
CN111313218B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
姜校顺李胜军李昊刘洋肖敏
申请人 ：
南京大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
巩克栋
优先权 ：
CN202010104921.8
主分类号 ：
H01S3/08
IPC分类号 ：
H01S3/08
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-07-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 3/08
申请日 : 20200220
申请日 : 20200220
2020-06-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
