本发明公开了一种网状金银复合纳米薄膜的制备方法，通过透明基底层结构的优化，利用物理气相沉积制备具有网状纳米结构的金或银材料；在此基础上旋涂一层光刻胶，并将透明基底一面进行曝光、烘焙、显影，去除具有网状纳米结构的金或银材料孔洞中的光刻胶涂层，保留下附着于其正上方的光刻胶涂层，并以此为基础进行二次物理气相沉积过程，制备一层第二种金或银纳米材料；完成后进行剥离，去除附着于具有网状纳米结构的金或银材料正上方的光刻胶涂层以及第二种金或银纳米材料，留下填充在孔洞中的第二种金或银纳米材料，即得网状金银复合纳米薄膜。本发明可以通过调节金、银体积比以及镂空图案的尺寸、位置的不同来调节薄膜的表面等离激元光谱。