一种绝对式时栅直线位移传感器
授权
摘要
本发明涉及传感器技术领域，且公开了一种绝对式时栅直线位移传感器，包括动尺和定尺，所述动尺包括动尺基体、精极感应调制极和粗极感应调制极；所述定尺包括定尺基体、精极激励极和粗极激励极。1、本申请的位移的精测和粗测都采用同一感应原理，使测量系统更精简，传感器电路与结构更简单，减小了传感器规模和布线难度。2、本申请采用时栅原理的测量方法，通过测量相位信号的变化来间接测量位移，测量结果更精确。3、本申请采用方波激励形式的时栅传感器能够大幅度减小电路规模和体积，从而有效的降低制造成本，满足更多场合的需求，且方波激励信号相比于正弦波信号产生更简单。
基本信息
专利标题 ：
一种绝对式时栅直线位移传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111397498A
申请号 ：
CN202010282960.7
公开（公告）日 ：
2020-07-10
申请日 ：
2020-04-10
授权号 ：
CN111397498B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
张伟尚启慧王中宇
申请人 ：
重庆中电天时精密装备技术有限公司
申请人地址 ：
重庆市九龙坡区九龙园大道26号
代理机构 ：
重庆百润洪知识产权代理有限公司
代理人 ：
程宇
优先权 ：
CN202010282960.7
主分类号 ：
G01B7/02
IPC分类号 ：
G01B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-08-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/02
申请日 : 20200410
申请日 : 20200410
2020-07-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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