一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统
授权
摘要
本发明涉及气体测试设备领域，本发明公开了一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统。该顶接触式气体测试腔包括：第一壳体，该第一壳体的顶部设有第一凹槽；第二壳体，该第二壳体的底部设有第二凹槽和探针固定孔，该第二凹槽与该第一凹槽通过该第一壳体和该第二壳体对接形成通孔；其中，该通孔的一端与供气装置连接，该通孔用于放置气体传感器和流通气体。本发明提供的顶接触式气体测试腔具有稳定时间短、测试效果好，以及与普通探针构成的气体测试系统具有成本低和占用空间小的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种顶接触式气体测试腔及应用其的动态气体测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111537670A
申请号 ：
CN202010312318.9
公开（公告）日 ：
2020-08-14
申请日 ：
2020-04-20
授权号 ：
CN111537670B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
宋健李铁郭腾飞王跃林
申请人 ：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN202010312318.9
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2020-09-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 33/00
申请日 : 20200420
申请日 : 20200420
2020-08-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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