一种单片集成多波段控制MEMS开关
授权
摘要
本发明公开了一种单片集成多波段控制MEMS开关，衬底、三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线、波段控制单元、封帽；三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线和波段控制单元制作在衬底上，信号传输线将三个开关单元连接成一串两并的电路拓扑结构；3个开关单元的控制单元包括高阻值薄膜、连接金属线和控制焊盘，由3个控制电压组合完成多个波段MEMS开关功能；衬底与封帽形成密封腔体，将MEMS开关电路的可动结构封装在腔体内；三个串联接触式MEMS开关单元可分别由蟹型梁式、悬臂梁式开关结构中选择。本发明优化了宽频段下MEMS开关的插入损耗、提高了MEMS开关的隔离度，为相控阵雷达天线、通信装备等向小型化高性能发展提供了新的解决方案。
基本信息
专利标题 ：
一种单片集成多波段控制MEMS开关
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111508780A
申请号 ：
CN202010325794.4
公开（公告）日 ：
2020-08-07
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN111508780B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
黄镇郁元卫罗仁虎匡蕾姜理利王冬蕊
申请人 ：
中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请人地址 ：
江苏省南京市秦淮区中山东路524号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
姜慧勤
优先权 ：
CN202010325794.4
主分类号 ：
H01H59/00
IPC分类号 ：
H01H59/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关；继电器；选择器；紧急保护装置
H01H59/00
静电继电器；电附着继电器
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2020-09-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01H 59/00
申请日 : 20200423
申请日 : 20200423
2020-08-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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