本发明公开了管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备，装置包括支撑架、传送导轨部分和动力部分，传送导轨部分包括承载载料舟的托盘、炉外托盘导轨、炉内托盘导轨和固定导轨，固定导轨的两端支撑在支撑架上，炉外托盘导轨可移动的设于固定导轨上，托盘可移动的设于炉外托盘导轨上，炉内托盘导轨设于炉体反应室内，动力系统包括托盘导轨推动驱动和托盘推动驱动，托盘导轨推动驱动用于驱动炉外托盘导轨移动以便与炉内托盘导轨对接，托盘推动驱动用于驱动托盘从炉外托盘导轨移动至炉内托盘导轨上。设备包括炉体和炉门系统，炉体内设有反应室，还包括上述的进出舟装置。本发明具有结构稳定、不会发生变形以及缩短取放舟时间的优点。