具有增强光谱光源结构的色共焦范围感测系统

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摘要

提供了一种共焦范围感测(CRS)系统，其包括波长检测器、源光结构以及一个或多个测量通道。每个测量通道被配置为感测距工件表面的相应距离，并且包括共焦检测孔和共焦光源孔。源光结构包括第一和第二磷光体组合物、波长组合结构以及共用源光路径。第一和第二磷光体组合物分别位于分开的第一和第二磷光体区域中。作为工件高度测量操作的一部分，第一和第二磷光体组合物分别将第一和第二发射光发射到波长组合结构，该波长组合结构沿着共用源光路径将第一和第二发射光作为源光输出(即，具有由于第一和第二发射光的组合造成的波长范围)，其被每个相应共焦光源孔接收。

基本信息

专利标题：

具有增强光谱光源结构的色共焦范围感测系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112013771A

申请号：

CN202010454367.6

公开（公告）日：

2020-12-01

申请日：

2020-05-26

授权号：

CN112013771B

授权日：

2022-05-10

发明人：

D.W.塞斯科

申请人：

株式会社三丰

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

贺紫秋

优先权：

CN202010454367.6

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02 G01B11/06