等离激元回音壁光泵激光器及其制备方法
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摘要
一种等离激元回音壁光泵激光器及其制备方法，所述等离激元回音壁光泵激光器包括：衬底；缓冲层，位于所述衬底上；回音壁谐振腔，位于所述缓冲层上；由下至上依次包括：底部多孔DBR层、n型掺杂GaN层、有源层、电子阻挡层、p型掺杂GaN层；金属颗粒层，形成于所述回音壁谐振腔的侧壁上，用于产生等离激元。本发明采用底部多孔DBR层反射镜对回音壁谐振腔的光场有很好的垂直方向的限制作用，因而该发明制备的回音壁光泵激光器阈值功率密度较低；此外，包裹在回音壁谐振腔侧壁的金属颗粒会产生等离激元将回音壁模式的光场更好的限制在谐振腔中，进一步降低了阈值功率密度，本发明有助于实现小尺寸低阈值激光器。
基本信息
专利标题 ：
等离激元回音壁光泵激光器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111834889A
申请号 ：
CN202010719942.0
公开（公告）日 ：
2020-10-27
申请日 ：
2020-07-23
授权号 ：
CN111834889B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
赵丽霞林杉胡天贵李晓东
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
孙蕾
优先权 ：
CN202010719942.0
主分类号 ：
H01S5/125
IPC分类号 ：
H01S5/125 H01S5/343
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-11-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/125
申请日 : 20200723
申请日 : 20200723
2020-10-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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