表面等离极化激元激光器及其制备方法和应用
公开
摘要
一种表面等离极化激元激光器及其制备方法和应用，该制备方法包括：将银纳米线分散液旋涂在衬底上，得到器件一；将器件一在惰性气氛下加热一段时间，得到器件二；在器件二上制备三氧化二铝薄膜；在三氧化二铝薄膜上旋涂染料分散液后退火，得到所述表面等离极化激元激光器。本发明所设计的器件结构可以实现具有突破光学衍射极限尺度性质的相干光源，可以将激光器器件尺寸缩小至出射激光半波长以下的尺度内，为集成光子器件的应用奠定了基础。
基本信息
专利标题 ：
表面等离极化激元激光器及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566865A
申请号 ：
CN202011351489.9
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2020-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙明飞王智杰刘孔曲胜春
申请人 ：
中国科学院半导体研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王江选
优先权 ：
CN202011351489.9
主分类号 ：
H01S5/10
IPC分类号 ：
H01S5/10 H01S5/36 B82Y30/00
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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