超声悬浮旋转式微通道板腐蚀方法

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摘要

本发明公开了一种超声悬浮旋转式微通道板腐蚀方法，包括以下步骤：将冷加工处理后的毛坯件导入夹具；将夹具依次放入无水乙醇和水中超声清洗；将清洗后的夹具交替放入酸槽和碱槽中进行超声悬浮旋转腐蚀，并控制酸槽和碱槽的反应温度和反应时间，得到微孔阵列微通道板。本发明的腐蚀方法得到的微通道板内壁形貌和表面质量好，提高微通道板的使用寿命和增益，且腐蚀时间少，提高生产效率。

基本信息

专利标题：

超声悬浮旋转式微通道板腐蚀方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111863582A

申请号：

CN202010720106.4

公开（公告）日：

2020-10-30

申请日：

2020-07-24

授权号：

CN111863582B

授权日：

2022-04-22

发明人：

张正君李涛丛晓庆李婧雯乔芳建邱祥彪毛汉祺牛鹏杰张欢赵慧民

申请人：

北方夜视技术股份有限公司

申请人地址：

云南省昆明市经济技术开发区红外路5号

代理机构：

南京行高知识产权代理有限公司

代理人：

王培松

优先权：

CN202010720106.4

主分类号：

H01J43/24

IPC分类号：

H01J43/24 H01J9/12