基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器
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摘要
本发明公开了一种基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器，该湿度传感器包括基板(1)，电感(2)，第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)，绝缘层(5)，吸湿材料层(6)；所述电感(2)位于基板(1)的上表面，第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)位于绝缘层(5)的上表面，第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)与电感(2)相连；吸湿材料层(6)位于绝缘层(5)下方，吸湿材料层和绝缘层组成的湿敏悬臂梁一端与基板相连。该湿度传感器结构新颖，且能够进行无源无线检测，同时整个传感器通过微电子加工工艺，可使结构尺寸的精度达到较高水平，使得该湿度传感器具有灵敏度高、寿命长、功耗低、体积小、工艺兼容等优势。
基本信息
专利标题 ：
基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112034019A
申请号 ：
CN202010933150.3
公开（公告）日 ：
2020-12-04
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN112034019B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
韩磊吴承根
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 ：
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈廉
优先权 ：
CN202010933150.3
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-12-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/22
申请日 : 20200908
申请日 : 20200908
2020-12-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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