基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器
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摘要

本发明公开了一种基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器,该湿度传感器包括基板(1),电感(2),第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4),绝缘层(5),吸湿材料层(6);所述电感(2)位于基板(1)的上表面,第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)位于绝缘层(5)的上表面,第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)与电感(2)相连;吸湿材料层(6)位于绝缘层(5)下方,吸湿材料层和绝缘层组成的湿敏悬臂梁一端与基板相连。该湿度传感器结构新颖,且能够进行无源无线检测,同时整个传感器通过微电子加工工艺,可使结构尺寸的精度达到较高水平,使得该湿度传感器具有灵敏度高、寿命长、功耗低、体积小、工艺兼容等优势。

基本信息
专利标题 :
基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112034019A
申请号 :
CN202010933150.3
公开(公告)日 :
2020-12-04
申请日 :
2020-09-08
授权号 :
CN112034019B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
韩磊吴承根
申请人 :
东南大学
申请人地址 :
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 :
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
沈廉
优先权 :
CN202010933150.3
主分类号 :
G01N27/22
IPC分类号 :
G01N27/22  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
2022-04-12 :
授权
2020-12-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/22
申请日 : 20200908
2020-12-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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