一种可测量水平、垂直位移和偏转检测的装置及方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种可测量水平、垂直位移和偏转检测的装置及方法。其特征是:由双频激光头1,中性分光镜2,激光干涉仪3,位移传感器4,三角反射镜5,微移动台6,角锥棱镜7,信号处理单元8组成。双频激光头发出的测量光路上设置中性分光镜,经中性分光镜透射和反射后分别形成两路测量光路,在第一测量光路上依次设置有三角反射镜、位移传感器,在第二测量光路上设置有激光干涉仪组件。通过结合平面几何原理并对比计算两路测量信号可实现水平、垂直位移测量和偏转检测。本发明具有精度高、结构简单的特点,可广泛用于微移动台或小型设备的小量程线性位移测量与偏转检测。

基本信息
专利标题 :
一种可测量水平、垂直位移和偏转检测的装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114264235A
申请号 :
CN202010964197.6
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2020-09-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
熊显名丁子婷曾启林张文涛杜浩徐绍华
申请人 :
桂林电子科技大学
申请人地址 :
广西壮族自治区桂林市桂林金鸡路1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202010964197.6
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  G01B11/00  G01B9/02055  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20200915
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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