本发明实施例提供一种环境监测系统，用于监测无尘室内多个制程区域的空气污染物浓度，其特征在于，包括：采样装置，用于采集所述制程区域的环境样品，所述采样装置包括系统采样管路，所述环境样品包括空气；分析装置，与所述系统采样管路的输出端连通；供气装置，与所述系统采样管路连通，用于向所述系统采样管路提供吹扫气体；加湿装置，用于提供水雾，所述加湿装置连通在所述供气装置与所述系统采样管路之间。本发明实施例有利于快速清洁管路残留污染物，缩短清洁管路时间，加快系统采样循环时间，提高系统采样频率；提高采样分析得到的气体污染物数据的准确性。