环境监测系统
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提供一种环境监测系统，用于监测无尘室内制程区域的空气污染物浓度，包括：所述无尘室内具有多个制程区域；采样装置，用于采集所述制程区域的环境样品；控制装置，用于控制所述采样装置采集预设的所述制程区域的环境样品；分析装置，与所述采样装置连通，用于分析采集到的所述环境样品。本发明有利于快速获取特定制程区域环境样品的分析数据，以及提高分析数据的准确性。
基本信息
专利标题 ：
环境监测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114264522A
申请号 ：
CN202010973462.7
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-09-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丁云霄
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成丽杰
优先权 ：
CN202010973462.7
主分类号 ：
G01N1/24
IPC分类号 ：
G01N1/24 G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/02
取样装置
G01N1/22
气体的
G01N1/24
抽吸装置
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 1/24
申请日 : 20200916
申请日 : 20200916
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
