一种柔性振动传感器及其制作方法
授权
摘要
一种柔性振动传感器及其制作方法，该柔性振动传感器包括振动敏感层、电极和空腔结构层，所述振动敏感层为带有振动敏感区的聚合物薄膜，所述振动敏感区包含多孔石墨烯薄膜，所述多孔石墨烯薄膜的两端分别连接所述电极，所述空腔结构层为柔性的聚合物材料，所述振动敏感层与所述空腔结构层固定在一起并使得所述振动敏感区悬空于所述空腔结构层的空腔之上。该柔性振动传感器既具有高灵敏度的优点，又具有柔软的传感结构，易安装在需要检测振动的表面，且在成本和结构稳定性上具有优势。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性振动传感器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112161695A
申请号 ：
CN202010997543.0
公开（公告）日 ：
2021-01-01
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
CN112161695B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
张旻王志标李宏正刘易鑫
申请人 ：
清华大学深圳国际研究生院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼
代理机构 ：
深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人 ：
王震宇
优先权 ：
CN202010997543.0
主分类号 ：
G01H9/00
IPC分类号 ：
G01H9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H9/00
应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2021-01-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01H 9/00
申请日 : 20200921
申请日 : 20200921
2021-01-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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